在无锡经开区企业无锡索奥精密阀门有限公司的产线测试区，一排排银色的半导体真空阀门正在进行出厂测试。多轮压力测试后，屏幕上的数值依然在设定的0.1%误差范围内稳定波动，标志着其核心指标达到国际产品水平，该领域国产设备首次具备与欧美国际巨头同台竞技的能力。
近日，索奥自主研发的半导体APC摆阀完成技术攻关，继其蝶阀产品之后，正式进入设备厂商的验证流程。这两款具备高精度自动控压能力的半导体设备核心部件，填补了国内高端自动控压真空阀领域的技术空白，为半导体产业链国产化注入了新动能。
真空阀门被称为半导体设备的“压力守门人”，在半导体制程的刻蚀和沉积工艺中，由真空阀控制的压力稳定性、精度等直接决定着晶圆的良品率，其重要性不言而喻。企业技术总监李秉根介绍，真空阀的研发和生产难度较高，需要长时间的行业经验和资源积累，国产设备起步较晚，90%的真空阀门都要依赖欧美进口，不但价格高昂，交期更是长达半年。随着国内需求的持续增长和外部制裁的日益加剧，国产替代的需求愈发显得紧迫和强烈。
索奥科技成立于2024年11月，主要从事半导体领域核心装备与零部件的研发、生产及销售，其响应国家半导体产业链自主化战略，积极投身国内真空阀门等领域。在历经从零起步的产品研发，以及多轮合作伙伴的更替探索后，索奥选择“弯道超车”——与拥有十余年经验的韩国Ronda、Novasen公司开展深度合作。依托韩方在APC阀门领域的技术积累，以及中国团队的本土化运营经验，索奥对标国际一流产品，迅速完成了半导体级蝶阀、摆阀等真空阀门的研发与国产化替代，改变了国内半导体该领域产品大量依赖进口的局面。
“软件逻辑是产品核心。”企业运营副总褚倩介绍，阀门能够根据真空腔体内压力的变化自主学习、实时精准调节阀门开合角度，并将控压精度稳定在±0.1%的国际水平。“我们的目标是真空阀全线产品的国产化。”褚倩说，企业已成立了国内产品研发中心，并组建本土化研发团队。未来所有机械设计部分都将由中国团队完成，软件部分则由中韩研发团队协同进行，在推进本土化的同时，确保核心技术竞争力持续提升。
目前，企业研发投入占比超30%，已获得国家高新技术企业、无锡市雏鹰企业、江苏省民营科技企业、创新型中小企业、科技型中小企业等荣誉，累计获得专利30项，重点合作客户包括拓荆科技、微导纳米、先导科技、北方华创等多家半导体或光伏设备厂家。
值得一提的是，经开的产业生态为企业技术突破助力。通过经开区举办的半导体产业沙龙，企业对接上了在同一产业园区的电机供应商无锡奕帆。据介绍，目前奕帆的电机已通过送样验证，未来可能会批量应用于索奥阀门产品上，上下游协同的模式在经开“生态圈”内即可完成。
褚倩表示，依托区域产业生态和政策，企业正加速产业化进程，目前已与多家本地产业链企业建立初步合作。未来，索奥将继续深耕真空阀门领域，在为半导体产业国产化提供助力的同时，助推区域产业链上下游更好协同发展，形成更强产业发展合力。
